技术
VERDERFLEX软管泵在半导体行业的应用
发布时间:2014-04-15 09:08

中国是世界上最大的电子产品制造国,也因此成为世界上最大的半导体消费国,约占全球消耗量的40.5%。现在国际半导体企业已把技术含量相对较低、劳动密集型的产业链环节向我国转移,我国半导体产业已成为国际产业链的一环。2014年中国大陆集成电路产业销售额预计增速将超过18%,产业规模超过2,500亿元,其中集成电路设计增速将超过30%,子产业规模进一步提升至810亿元,全行业占比提升至32%左右。

十二五”期间,中国政府正在试图重拾为期20年的芯片行业发展规划,宣布在2010-2020年投入300亿美元用于半导体设计与制造。地方各级政府也计划同期投入250亿到300亿美元。

半导体行业工艺流程---IC产业如图:

晶圆制作流程如图:

VERDERFLEX软管泵在该行业中,主要应用在晶圆、芯片、IC、LED、TFT-LCD水处理系统中的加药环节。

半导体制作过程会产生大量的废水,必须小心的处理,以免危害环境。一般而言,废水的来源可以分成制造废水、超纯水的制造排水与排气洗净水等三大类。如果依性质分类课可以分成酸碱废水、含氟废水、氰化物废水,研磨废水与重金属废水等五类。

废水处理系统使用最广泛的是化学沉淀法:

化学沉淀法为利用法学药剂与溶解的离子发生法学反应产生不溶解性沉淀物,含氟废水的处理即利用钙离子与氟离子发生反应结合成氟化钙粒子沉淀去除之。

主要化学反应式:

Ca2+ + 2F- → CaF2↓Ksp = 3.4*10-11

为了降低氟离子残存浓度,一般可以提高所添加的钙浓度以预期处理效果。钙离子的选用来源可以由石灰石、消石灰、氯化钙等提供。

所添加的石灰石、消石灰、氯化钙等药剂则需要由VERDERFLEX软管泵输送。

废水处理系统如图:

下图为无锡某半导体公司使用VF80软管泵输送10%石灰乳的现场图:

流量:17.6m3/h

压力:2bar

因石灰的研磨性和一定的计量稳定性,所以该公司在该环节上都是用的是软管泵,而Verder弗尔德软管泵的优良品质使得该公司最终选用了弗尔德软管泵。

VERDERFLEX软管泵特点:

泵送高含固量及高腐蚀性介质

维护成本低

特殊软管设计延长了使用寿命

符合多种标准设计

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